随着5G通信、人工智能和芯片先进封装技术的飞速发展,玻璃基板因其优异的高频电学性能和热稳定性,正逐渐取代传统的有机基板,成为下一代芯片封装的“新宠”。然而,要在这种又硬又脆的玻璃上加工出微米级的通孔(TGV),传统机械加工束手无策,这也成为了制约产业发展的瓶颈。
作为深耕深圳的激光微孔加工专家,深圳市家家用激光设备有限公司凭借多年的技术积累,在玻璃通孔激光钻孔领域取得了突破性进展,为国内半导体产业链的自主可控贡献了“家家用”力量。
一、TGV加工难在哪?
玻璃通孔(Through-Glass Via)是玻璃基板封装的核心工序。它要求在厚度仅几百微米的玻璃上,加工出孔径极小、深径比极高的微孔。这面临三大技术挑战:
1、崩边与微裂纹:玻璃硬度高、脆性大,传统加工极易在孔口造成崩边,导致基板报废。
2、孔壁粗糙度:孔壁不够光滑(Ra值过高),会影响后续的金属化填充,导致信号传输损耗增加。
3、加工效率:单个芯片上往往有成千上万个孔,如何实现高速且一致的打孔,是量产化的关键。
二、家家用激光的TGV钻孔解决方案
针对上述痛点,家家用激光研发团队推出的高精密紫外/超快激光钻孔设备,给出了完美的解决方案:
1、精准的“冷加工”效果
我们采用高功率紫外激光和皮秒/飞秒超快激光技术。通过极短的脉冲宽度,激光直接在玻璃材料上引发“多光子吸收”,瞬间气化材料,几乎不产生热影响区。这种“冷加工”特性从根本上杜绝了微裂纹和热应力的产生,确保了玻璃基板的机械强度。
2、极致的深径比与光洁度
通过优化贝塞尔光束整形系统,家家用激光设备可在1mm厚度的玻璃上实现孔径低至20μm的微孔加工,深径比超过50:1。同时,通过精确的能量控制,孔壁粗糙度可控制在Ra<0.2μm以下,完全满足PVD金属化填孔的严苛要求。
3、智能化的视觉定位系统
针对玻璃基板易形变的特点,我们的设备集成了高精度CCD视觉定位系统。在加工前自动识别涨缩补偿,确保即使是大尺寸面板(如510x515mm)上的通孔阵列,位置精度也能控制在±3μm以内。
三、不止于设备,更提供工艺验证
我们深知,材料科学日新月异。家家用激光不仅销售设备,更开放工艺打样实验室。无论您是做MEMS传感器、射频前端模组还是先进封装,我们都欢迎您寄送样品,与我们共同验证微孔加工的可行性。
在国产替代的浪潮中,家家用激光愿做那颗最坚实的“螺丝钉”,用一束束精准的激光,打通先进制造的“任督二脉”。

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